Разработка методов формирования и защиты поверхности токопроводящих слоев для неразъемных соединений элементов микроэлектронных приборов

dc.contributor.authorМирсаетов, Олег Марсимович
dc.contributor.otherТрапезников, В. А.
dc.date.accessioned2017-04-10T07:55:51Z
dc.date.available2017-04-10T07:55:51Z
dc.date.issued2000
dc.identifier.citationМирсаетов, О. М. Разработка методов формирования и защиты поверхности токопроводящих слоев для неразъемных соединений элементов микроэлектронных приборов : диссертация в виде научного доклада на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.01 - Техника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований ; 05.11.14 - Технология приборостроения / О. М. Мирсаетов ; [научный руководитель В. А. Трапезников ; ОАО "Ижевский мотозавод" Аксион-Холдинг"]. - Ижевск, 2000. - 48 с. : ил.ru_RU
dc.identifier.otherarhiv_book_02059
dc.identifier.urihttp://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/3589
dc.language.isoruru_RU
dc.subjectмикроэлектроникаru_RU
dc.subjectнеразъемные соединенияru_RU
dc.subjectавторефераты диссертацийru_RU
dc.subjectмежслоевая диффузияru_RU
dc.subjectИжевский мотозавод "Аксион-Холдинг"
dc.titleРазработка методов формирования и защиты поверхности токопроводящих слоев для неразъемных соединений элементов микроэлектронных приборовru_RU
dc.typeThesisru_RU