Измерение электрофизических параметров полупроводниковых материалов и структур зондовыми методами

Превью изображение
Читать (17.61 MB)

Аннотация

Подробно рассмотрен четырехзондовый метод и его модификации, в частности метод Ван дер Пау, для определения удельного сопротивления полупроводниковых материалов и структур. Приведены основные методы расчета и представлены справочные данные для частных случаев измерения. Рассмотрены различные модификации метода сопротивления растекания (одно-, двух- и трехзондовый) в применении к исследованию однородных и неоднородных полупроводниковых материалов и структур. Разбирается выбор граничных условий и различные методы решения конкретных задач. Предназначено для студентов, инженеров-физиков и технологов, занимающихся измерением электрофизических параметров полупроводниковых материалов и структур.

Описание

Авторы

Составители/Переводчики

Год

1989

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Издательство

УдГУ

Ключевые слова

полупроводники, четырехзондовые измерения, удельное сопротивление, учебные пособия

Коллекции

32. Радиоэлектроника
dc.contributor.authorГолубев, Виктор Иванович
dc.contributor.authorУсков, Виктор Афанасьевич
dc.date.accessioned2018-10-03T05:21:59Z
dc.date.available2018-10-03T05:21:59Z
dc.date.issued1989
dc.description.abstractПодробно рассмотрен четырехзондовый метод и его модификации, в частности метод Ван дер Пау, для определения удельного сопротивления полупроводниковых материалов и структур. Приведены основные методы расчета и представлены справочные данные для частных случаев измерения. Рассмотрены различные модификации метода сопротивления растекания (одно-, двух- и трехзондовый) в применении к исследованию однородных и неоднородных полупроводниковых материалов и структур. Разбирается выбор граничных условий и различные методы решения конкретных задач. Предназначено для студентов, инженеров-физиков и технологов, занимающихся измерением электрофизических параметров полупроводниковых материалов и структур.ru_RU
dc.identifier.citationГолубев, Виктор Иванович. Измерение электрофизических параметров полупроводниковых материалов и структур зондовыми методами : учебное пособие / В. И. Голубев, В. А. Усков ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Удмуртский государственный университет им. 50-летия СССР. - Ижевск : УдГУ, 1989. - 98, [1] с. : рис., табл.ru_RU
dc.identifier.otherarhiv_book_05675
dc.identifier.urihttp://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/7890
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherУдГУru_RU
dc.subjectполупроводникиru_RU
dc.subjectчетырехзондовые измеренияru_RU
dc.subjectудельное сопротивлениеru_RU
dc.subjectучебные пособияru_RU
dc.titleИзмерение электрофизических параметров полупроводниковых материалов и структур зондовыми методамиru_RU
dc.typeBookru_RU