Введение в эллипсометрию наноразмерных пленок
Загрузка...
Аннотация
В пособии приводятся основные понятия эллипсометрического метода исследования поверхности и многослойных, в том числе неоднородных отражающих систем. Рассмотрены теоретические модели отражения плоской электромагнитной монохроматической волны от изотропных и анизотропных отражающих систем подложка — однородная пленка, подложка -многослойная система. Описаны основные уравнения эллипсометрии как с применением коэффициентов Френеля, так и с использованием метода адмиттансов. Классифицированы основные схемы эллипсометрических измерений, приведены рабочие формулы с использованием нулевого метода определения поляризационных углов, описаны основные проблемы при исследовании наноразмерных пленок.
Описание
Составители/Переводчики
Год
2011
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Издательство
Удмуртский университет
Ключевые слова
Коллекции
| dc.contributor.author | Алалыкин, Александр Сергеевич | |
| dc.contributor.author | Зайцева, Евгения Алексеевна | |
| dc.contributor.author | Крылов, Петр Николаевич | |
| dc.date.accessioned | 2025-03-04T06:57:02Z | |
| dc.date.available | 2025-03-04T06:57:02Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.description.abstract | В пособии приводятся основные понятия эллипсометрического метода исследования поверхности и многослойных, в том числе неоднородных отражающих систем. Рассмотрены теоретические модели отражения плоской электромагнитной монохроматической волны от изотропных и анизотропных отражающих систем подложка — однородная пленка, подложка -многослойная система. Описаны основные уравнения эллипсометрии как с применением коэффициентов Френеля, так и с использованием метода адмиттансов. Классифицированы основные схемы эллипсометрических измерений, приведены рабочие формулы с использованием нулевого метода определения поляризационных углов, описаны основные проблемы при исследовании наноразмерных пленок. | |
| dc.identifier.citation | Алалыкин, Александр Сергеевич. Введение в эллипсометрию наноразмерных пленок : учебно-методическое пособие / А. С. Алалыкин, Е. А. Зайцева, П. Н. Крылов ; М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Удмурт. гос. ун-т". - Ижевск : Удмуртский университет, 2011. - 69, [2] с. | |
| dc.identifier.other | arhiv_book_16241 | |
| dc.identifier.uri | https://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/30311 | |
| dc.language.iso | ru | |
| dc.publisher | Удмуртский университет | |
| dc.subject | эллипсометрия | |
| dc.subject | учебно-методические пособия | |
| dc.title | Введение в эллипсометрию наноразмерных пленок | |
| dc.type | Text |