2018-03-152018-03-151991Материалы II Всесоюзного межотраслевого совещания "Тонкие пленки в электронике" / НПО "Техномаш". - Москва ; Ижевск : [б. и.], 1991. - 84 с. : ил.arhiv_book_04275http://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/5928ruтонкие пленкиэлектроникаматериалы совещаниймикроэлектроникавыращивание пленокМатериалы II Всесоюзного межотраслевого совещания "Тонкие пленки в электронике"Book