Алалыкин, Александр СергеевичЗайцева, Евгения АлексеевнаКрылов, Петр Николаевич2025-03-042025-03-042011Алалыкин, Александр Сергеевич. Введение в эллипсометрию наноразмерных пленок : учебно-методическое пособие / А. С. Алалыкин, Е. А. Зайцева, П. Н. Крылов ; М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Удмурт. гос. ун-т". - Ижевск : Удмуртский университет, 2011. - 69, [2] с.arhiv_book_16241https://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/30311В пособии приводятся основные понятия эллипсометрического метода исследования поверхности и многослойных, в том числе неоднородных отражающих систем. Рассмотрены теоретические модели отражения плоской электромагнитной монохроматической волны от изотропных и анизотропных отражающих систем подложка — однородная пленка, подложка -многослойная система. Описаны основные уравнения эллипсометрии как с применением коэффициентов Френеля, так и с использованием метода адмиттансов. Классифицированы основные схемы эллипсометрических измерений, приведены рабочие формулы с использованием нулевого метода определения поляризационных углов, описаны основные проблемы при исследовании наноразмерных пленок.ruэллипсометрияучебно-методические пособияText