Голубев, Виктор ИвановичУсков, Виктор Афанасьевич2018-10-032018-10-031989Голубев, Виктор Иванович. Измерение электрофизических параметров полупроводниковых материалов и структур зондовыми методами : учебное пособие / В. И. Голубев, В. А. Усков ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Удмуртский государственный университет им. 50-летия СССР. - Ижевск : УдГУ, 1989. - 98, [1] с. : рис., табл.arhiv_book_05675http://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/7890Подробно рассмотрен четырехзондовый метод и его модификации, в частности метод Ван дер Пау, для определения удельного сопротивления полупроводниковых материалов и структур. Приведены основные методы расчета и представлены справочные данные для частных случаев измерения. Рассмотрены различные модификации метода сопротивления растекания (одно-, двух- и трехзондовый) в применении к исследованию однородных и неоднородных полупроводниковых материалов и структур. Разбирается выбор граничных условий и различные методы решения конкретных задач. Предназначено для студентов, инженеров-физиков и технологов, занимающихся измерением электрофизических параметров полупроводниковых материалов и структур.ruполупроводникичетырехзондовые измеренияудельное сопротивлениеучебные пособияBook